¿Qué es la epi­ta­xia?

El mé­to­do per­mi­te ob­te­ner pro­duc­tos de ex­ce­len­te ca­li­dad. Exis­ten las fa­ses ga­seo­sa y lí­qui­da.

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La epi­ta­xia se pue­de dar en dos fa­ses: ga­seo­sa y lí­qui­da. La epi­ta­xia de fa­se ga­seo­sa es un pro­ce­so de cre­ci­mien­to orien­ta­do de una pe­lí­cu­la so­bre un sus­tra­to en el que se in­yec­tan en el reac­tor can­ti­da­des muy con­tro­la­das de los ga­ses pre­cur­so­res de los ele­men­tos que con­for­man el ma­te­rial, muy di­lui­dos en un gas por­ta­dor.

El cre­ci­mien­to se pro­du­ce cuan­do es­tos ga­ses se des­com­po­nen en la su­per­fi­cie ca­lien­te del sus­tra­to ori­gi­nan­do los ele­men­tos que for­ma­rán el ma­te­rial.

Si se quie­ren de­po­si­tar nue­vas ca­pas de otros ma­te­ria­les, se de­ben ha­cer pa­sar su­ce­si­va­men­te ga­ses pre­cur­so­res de esos ma­te­ria­les trans­por­ta­dos en la co­rrien­te ga­seo­sa co­rres­pon­dien­te.

La epi­ta­xia de fa­se lí­qui­da es un pro­ce­so de cre­ci­mien­to orien­ta­do de una pe­lí­cu­la so­bre un sus­tra­to, en el que la for­ma­ción de las ca­pas se ori­gi­na a par­tir de una so­lu­ción fun­di­da sa­tu­ra­da con un ma­te­rial se­mi­con­duc­tor, en la que ge­ne­ral­men­te se em­plea co­mo sol­ven­te el ga­lio o el in­dio.

Pro­ce­so. Se in­yec­tan en el reac­tor can­ti­da­des muy con­tro­la­das de los ga­ses pre­cur­so­res

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