Mi­cro­scope élec­tro­nique à ba­layage

Mesures - - Dossier Instrumentation De Laboratoire -

Le nou­veau mi­cro­scope élec­tro­nique à ba­layage (MEB) com­pact d’hi­ta­chi FLEXSEM 1000, dis­tri­bué en France par Elexience, peut être uti­li­sé comme un mo­dèle de table ou un MEB conven­tion­nel, avec les per­for­mances d’un mi­cro­scope élec­tro­nique à fi­la­ment tungs­tène haut de gamme. Des­ti­né à l’ob­ser­va­tion et l’ana­lyse élé­men­taire sur tous types d’échan­tillons (conduc­teurs, non conduc­teurs, fra­giles, hy­dra­tés), il af­fiche une ré­so­lu­tion en vide se­con­daire, avec dé­tec­teur SE, de 4 nm à 20 kv et une ré­so­lu­tion en vide par­tiel (mode « Low Va­cuum » uti­li­sant un dé­tec­teur d’élec­trons se­con­daires spé­ci­fique UVD), avec dé­tec­teur BSE, de 5 nm à 20 kv, ain­si qu’une ten­sion d’ac­cé­lé­ra­tion ré­glable de 0,3 à 20 kv et une pres­sion de consigne de 6 à 100 Pa. Le FLEXSEM 1000 dis­pose d’une pla­tine 5 axes, avec dé­pla­ce­ments en conti­nu sur les cinq axes (X,Y, R, Z et T) et une nou­velle in­ter­face gra­phique in­tui­tive pour une prise en main ra­pide et fa­cile (ni­veaux dé­bu­tant, confir­mé et ad­mi­nis­tra­teur). En­fin le nou­veau MEB se dis­tingue par un faible en­com­bre­ment (gain de place de 52% et de poids de 45 % par rap­port au mo­dèle pré­cé­dent) et une faible consom­ma­tion élec­trique (- 50 %).

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