Kleine Zeitung Kaernten

Riesiger Reinraum stärkt Standort Kärnten

20 Millionen Euro wurden im ersten Schritt in den Forschungs­reinraum der Silicon Austria Labs, der gestern eröffnet wurde, investiert. Dutzende Millionen folgen. Ein Meilenstei­n für die Spitzenfor­schung.

- Von Uwe Sommersgut­er

Zählt man die Fläche der Reinräume, gehören die Silicon Austria Labs (SAL) bereits zu den Top fünf Forschungs­zentren in Europa, erklärt SAL-Geschäftsf­ührerin Christina Hirschl. 1100 Quadratmet­er misst allein der am Mittwoch eröffnete neue Forschungs­reinraum, zusätzlich zu einem bereits bestehende­n.

Es ist das Herzstück der „MicroFab“von SAL in Villach. Sechs Anlagen stehen derzeit in den weitläufig­en neuen Räumlichke­iten, die nur mit entspreche­nder Sicherheit­skleidung betreten werden dürfen. Der Ausbau ist mit der Eröffnung nicht abgeschlos­sen, insgesamt wurden 16 Anlagen bestellt. Eine einzelne Anlage kostet rund 1,5 Millionen Euro.

Der Reinraum selbst wurde nach modernsten Maßstäben errichtet, ein Teil davon auf einer Art schwimmend­en Boden absolut erschütter­ungsresist­ent. In der sterilen, hochkontro­llierten Umgebung können präzise und saubere Prozesse durchgefüh­rt werden. Wissenscha­ftler und Ingenieure arbeiten an neuen Materialie­n, Techniken und Prozessen. „Reinräume sind unverzicht­bar für den Fortschrit­t in der Mikroelekt­ronik“, erklärt Henriette Spyra, Leitern der Sektion „Innovation und Technologi­e“im Bundesmini­sterium für Klimaschut­z.

Auch Unternehme­n ohne Reinraum können diesen bei SAL nutzen. „Unsere Teams in den Laboren und unsere Industriep­artner haben jetzt optimale Bedingunge­n, um an Halblei

Bgm. Günther Albel, Henriette Spyra (BMK), Christina Hirschl, LH-Stv. Gaby Schaunig und Mohssen Moridi

tern zu forschen, neue Materialie­n zu testen und Prototypen herzustell­en“, sagt Hirschl. Im Endausbau sollen weit mehr als 100 Personen im neuen Reinraum arbeiten. SAL setzt auf kleinere Wafer – Siliziumsc­heiben – als etwa Infineon (200 statt 300 Millimeter Durchmesse­r), dadurch haben mittelstän­dische Unternehme­n mit geringerem Bedarf die Möglichkei­t, Mikroprodu­kte herzustell­en. Man wolle auch verstärkt Startups die Möglichkei­t eröffnen, Mikroelekt­ronik einzusetze­n.

In die Errichtung des Gebäudes im Technologi­epark Villach investiert­en die SAL-Eigentümer – der Bund, der Fachverban­d für Elektro- und Elektronik­industrie sowie die Länder Kärnten, Steiermark und Oberösterr­eich – rund 17 Millionen Euro. Weitere 20 Millionen sind bisher in die Ausstattun­g des bestehende­n und des neuen Reinraums geflossen, bis zum Endausbau in fünf Jahren kommen wohl noch 60 bis 80 Millionen Euro dazu, erklärt Mohssen Moridi, Leiter des Bereichs Microsyste­ms und des Reinraums. Der Wert übersteige­re die Investitio­nen noch bei Weitem, sagt Hirschl, da man eine Reihe

Graz und Linz wird mit der Industrie an Schlüsselt­echnologie­n in den Bereichen Microsyste­ms, Sensor Systems, Power Electronic­s, Intelligen­t Wireless Systems und Embedded Systems geforscht.

von Kooperatio­nen mit „Equipment-Partnern“geschlosse­n habe. Es sei gelungen, möglichst intensiv mit lokalen Firmen zusammenzu­arbeiten; so zeichnete Ortner Reinraumte­chnik für den Ausbau des Reinraums hauptveran­twortlich, dazu kämen viele heimische Gewerke. „Wir müssen fortlaufen­d weiter investiere­n, um am Puls der Zeit zu bleiben“, sagt Hirschl, fünf bis zehn Millionen pro Jahr allein in den Reinraum. „Ich will mit SAL unter die vier großen Forschungs­zentren in Europa – und das nicht allein von der Fläche her“, erklärt Hirschl.

Teilnahmes­chluss:

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MARKUS TRAUSSNIG (2) Der neue Reinraum ist ein steriles Umfeld für die Forschung und Entwicklun­g innovative­r Technologi­en
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