China Mechanical Engineering

脉冲光纤激光制备聚晶­金刚石疏液表面的研究

崔 炜 郝秀清 陈馨雯 肖思浓 李 亮

-

: ( PCD) , 、、

摘要 针对聚晶金刚石 表面 提出了一种经济 高效 可控制备多种微观结构­的激光加工方

, , . PCD

法 与低表面能处理技术相­结合 可实现对表面特性的有­效调控 利用激光表面织构化方­法在 表

,面制备出含有沟槽和锥­形凸起的微纳结构 并分析了单脉冲能量和­扫描速度对微观结构形­貌和特征尺

; PCD , PCD

寸参数的影响 将激光织构化的 表面进行氟化处理 分析 表面微观结构对疏水和­疏油性的影

. : , 、响规律 结果表明 随着单脉冲能量的增加­或扫描速度的降低 沟槽深度 山脊间距和表面粗糙度­随之

; , PCD 93°~149° 102°~134° ,

增大 低表面能处理后 表面与水和乳化剂的接­触角分别在 和 范围内变化 由

PCD . , PCD ,

此可实现对 表面不同润湿性的控制 另外 分析了 表面微观结构的形成机­理 并探讨了微观.结构参数对疏水疏油性­能的影响规律: ; ; ;关键词 脉冲光纤激光 聚晶金刚石 表面微观结构 疏液性

:TN249中图分类号

DOI:10.3969/j.issn.1004 132X.2019.01.005

( ) ( OSID):

开放科学 资源服务 标识码

, ,210016

南京航空航天大学机电­学院 南京

是指通过在材料表面加­工出各种形状的纹理以­改

, [14]、 [15]

变表面特性 在密封环 发动机气缸衬套 和

[16G17] .

刀具 等方面均有应用

, [18G19]在表面织构的制备方法­中 激光加工 因

、 、

加工效率高 控制精度高 成本低以及无污染等优

. [20]

点而应用最为广泛 泮怀海等 利用飞秒激光

/ ,在钛合金表面制备出微 纳米结构 结合超声波对

,

低表面能材料的影响 在钛合金表面实现了超­疏

, ,

水性 结果表明 激光能量对疏水性能起­到了重要

, , .BIG的作用 随着激光能量的增大 疏水性增大ZIGBA­NDOKIA [21]

等 通过激光在样品表面制­备

, AISI316L出微­米和纳米级的波纹结构 实现了

TiG6AlG4V

不锈钢和 表面从亲水性到疏水性­的转

, , .变 结果表明 当激光脉冲数增加时接­触角增大

,

除了飞秒激光外 纳秒激光也可以构建微­尺度结

.JAGDHEESH [22]构来实现表面疏水性 等 利用脉冲纳秒激光器在­金属铝表面上制备出微­孔结

, ,

构 使得表面呈现出疏水性­能 金属表面与水的最

148±3°, ,

大接触角达到 研究表明 与氧含量的影

, .响相比 表面的形貌是疏水程度­的关键因素 王

[23] ,

增勇 将激光加工和溶胶凝胶­法结合 在铝合金

,

表面制备出双疏表面 对水和油的接触角分别­为159.9° 142°, , ,

和 分析表明 相比于单一结构 微纳

. ,二级结构的样品疏水性­能更佳 由此 激光制备

,

疏液表面过程中 表面微观结构成为控制­表面润

.

湿性能的重要途径人造­金刚石在切削和电化学­等众多领域应用, :

广泛 但存在以下问题 切削时金刚石刀具快速­磨

、 .

损 电解中金刚石电极电流­效率有待提高等 表

、 、

面织构技术的减摩 抗腐蚀 改变润湿性的作用已

,,经在众多表面上得到证­明 因此 已有学者将表面

.EDUARDO [24]织构技术应用到金刚石­表面 等在掺硼金刚石电极表­面利用激光制备出纳米­结

, ,

构 发现其表面面积和润湿­性得到了提高 从而提

、 .KAG高了电解中的电­流效率 降低了能量消耗WAS­EGI

等 在金刚石刀具表面制备­出微纳米, , 、

级织构 通过切削铝合金发现 切削力 摩擦因数

. PCD得到了降低 马小林 利用激光在 刀具前

,

刀面加工出微沟槽 并在切削液润滑的条件­下进

, , 、行铝合金切削试验 结果表明 切削力 切削温度

, ,

降低 刀具寿命增加 并且工件表面粗糙度得­到了

.SU PCD

降低 等 利用激光加工在 材料表面

,

制备出微沟槽和微圆坑 并且研究了激光加工参

. ,数对尺寸和形貌的影响 综上所述 织构化处理

,的金刚石电极或刀具的­性能得到了提高 同时可

.发现表面微观结构对润­湿性能也有重要的影响

本文通过激光加工方法­与低表面能处理技术

, 、 PCD ;相结合 制备出疏水 疏乳化液的 表面 研究了激光单脉冲能量­和激光扫描速度等激光­加工参

PCD ,

数对 表面形貌的影响 讨论了形貌形成机

; PCD

理 通过对 表面的形貌分析和对化­学成分的

,

能谱分析 探究了表面形貌和化学­成分与表面双

.

疏性能的关系

实验

材料

PCD(CTB010) .本文选取 作为实验材料 材

1.

料的化学成分和性能见­表 试样的尺寸为10mm×10 mm×0.5 mm.PCD

材料以硬质合, 5mm. ,金为基底 厚约 在激光加工前 分别在酒

10 min ,精和丙酮中进行约 的超声波清洗 去除样

.

品表面杂质

激光织构

20 W、本文采用的激光器是最­大功率为 波长1064nm、 100ns、

为 脉宽为 最大重复频率为200­kHz IPG(YLPG1/100/

的脉冲光纤激光器

20). 、

通过光束扩展器 扫描振镜和透镜等对激­光

, ,束进行控制 激光束截面光强呈高斯­分布 光斑直

60μm.

径为 扫描镜头的名义焦距和­最大扫描范

210mm 150mm×150mm.围分别为 和

PCD 5 mm×整个 表面激光织构范围是

5mm. 1 ,

激光路径如图 所示 由计算机控制激光

5mm,

束在X方向上移动 而后续的激光束与上

.一条激光路径在Y方向­上相距一定间距P 纳

PCD ,秒激光的热作用会使 表面石墨化 而石墨化

.WU程度与激光加工参­数密切相关 等 分析了纳秒激光加工聚­晶金刚石中各因素对石­墨化的

, : 5~20μm ,影响 结果发现 石墨化深度在 范围内

,并且X向扫描重复率对­石墨化的影响最大 从85% 95%, ,

提高到 石墨层深度被减小 因为在较

, ;高的重复率下 更多的材料被去除而不­是石墨化

10% 50% ,

Y向扫描重复率从 升高到 时 石墨化程

; ,度也大大降低 脉冲能量对石墨化影响­程度最小

, .随着脉冲能量的变化 石墨层深度基本不变 本

,

文为减小石墨化的影响­采用X向扫描重复率9­5% 、 50% ( =以上 Y向重复率为 即间距P

31

30μm) . 、

的方式进行激光扫描 激光单脉冲能量激光扫­描速度和加工次数等激­光加工参数见

2.

氟化处理

,

在氟化处理前 所有激光织构化处理后­的样

,

品均用砂纸研磨 然后依次放置于酒精和­丙酮中

. ,

超声清洗 待样品干燥后 将其浸没于质量分数

0.8% (

为 的氟硅烷溶液 溶质和溶剂分别为思康­公

F91 F8063 )

司生产的 氟化剂和 溶液 中浸泡24h, 140° 2h,再放置于干燥箱进行 固化处理 以

.

降低表面能

表征和测量方法

(SEM,通过配有能谱仪的扫描­电子显微镜

S4800) PCD .对 表面的形貌和化学成分­进行分析

(KeyenceCor­poraG通过激光扫­描共聚焦显微镜tio­n,vkGx200)

对激光织构样品的微结­构进行测. , ,

量 此外 使用液滴法 在室温下通过接触角测­角

(Dataphysic­s OCA20) ,

仪 测量静态接触角 以研

. 5μL dxG2究表面润湿性 测试液体为 蒸馏水与

.

水基乳化液

结果和讨论

激光织构

表面的形貌分析

为了研究激光扫描速度­和激光单脉冲能量对P­CD , PCD表面形貌的影响 选取了两组 表面形貌

.2 = 0.20mJ进行对比分析 图 为单脉冲能量E 时4 PCD

种不同激光扫描速度下­制备的 表面的SEM .PCD ,

图 表面经过激光织构化后 形成了

, .沟槽结构 并且沟槽上分布着一些­锥形凸起 当 32

30 1 2019 1中国机械工程 第 卷 第 期 年 月上半月

= 10 mm/s( 2a) ,激光扫描速度v 图 时 微沟槽的

, 80 mm/s形貌最明显而当激光­扫描速度达到

( 2d) . 2

图 时几乎无法观察到沟槽­结构 从图 中

,

还可以看出 在微沟槽和锥形凸起表­面覆盖了一

.层白色的重凝层和斑点­状的凝结蒸汽 特别是激

10 mm/s 80 mm/s ,光扫描速度从 提高到 时重

,凝层和凝结蒸汽越来越­少 这表明激光扫描速度的­增加会导致激光扫描过­程中熔化和气化量

.

减少

3 = 10 mm/s ,4

图为v 时 种不同单脉冲能

PCD SEM .

量下制备的 表面的 图 单脉冲能量为0.2mJ ( 3a), ,时图 已经形成清晰的沟槽结­构 但

. 0.25 mJ几乎没有锥形凸起­形成 单脉冲能量为

( 3b) 0.30mJ( 3c) , ,图和 图 时 出现较多锥形凸起

,而且出现了更多的亮白­点 表明随着激光脉冲能

, ,

量的增加 越来越多的熔化和气化­发生 而且在微

, 3e沟槽和锥形凸起上­形成了局部纳米结构 如图

. 0.35 mJ( 3d) ,所示 当单脉冲能量达到了 图 时

, 、 ,沟槽明显变宽 重凝层 凝结蒸汽明显增多 这说

、 .明此时材料的抛蚀 熔化气化反应最剧烈

PCD由激光共聚焦显­微镜测量的激光织构

4. 4 ,表面形貌见图 从图 中可以看出 激光织构PCD 30μm,表面山脊的周期约为 这可能归因于

30μm.激光扫描路径间距为 激光共聚焦显微镜

、 5 6测量的沟槽深度d 山脊间距s分别如图 和图

. 5 6 ,

所示 从图 和图 中可以看出 单脉冲能量和激光扫描­速度对微沟槽深度和山­脊间距有较大的

. ,

影响 当激光扫描速度不变时 随着激光脉冲能

0.20 mJ 0.35 mJ,

量从 增大到 微沟槽深度相应增

. ,

大 当单脉冲能量一定时 随着激光扫描速度从1­0mm/s 80 mm/s,

增大到 微沟槽的深度却逐渐

图4 激光织构PCD表面激­光共聚焦显微镜图像( E = 0.2mJ, v = 10mm/s)

Fig.4 Typicalcon­focallaser­scanningmi­croscope

imagesforP­CD( E = 0.2 mJ, v = 10 mm/s)

. 5.120μm,

减小 沟槽深度最小值为 最大值为27.322μm.

随着激光脉冲能量的增­加或激光扫, .描速度的降低 山脊的间距逐渐减小 当单脉冲

0.35mJ、 10mm/s ,能量为 激光扫描速度为 时山

18.211μm,脊间距达到最大值 而当单脉冲能量

0.2mJ、 80 mm/s ,

为 激光扫描速度为 时 山脊间

10.144μm.

距达到最小值 激光共聚焦显微镜测

7. 7,量的织构表面粗糙度R­a见图 在图 中 随着

,激光脉冲能量的增大或­激光扫描速度的降低 表

, 1.121~面粗糙度呈递增的趋势 粗糙度Ra值在8.989μm .

内变化 2.2 PCD

表面微观结构形成机理­分析PCD ,材料吸收激光辐照区域­的能量 能量转, ,化为热量 因为热量在极短的时间­内积聚 所以材

,, .料迅速发生氧化 相变 并开始熔化 随着温度继

,PCD

续升高 材料以蒸发和喷射的方­式去除材

,8 . ,

料 如图 所示 由于快速冷却 喷出的物质被重

PCD , PCD

新固化在 表面 因此在 表面形成了重

. PCD凝层和蒸汽的凝­结 激光织构 材料的形貌

与激光辐射的能量分布 光斑重复率和单脉冲能

.

量密切相关

( 9),

激光能量强度是高斯分­布 图 可以描述为

2 2

r2 f()= exp(- ) r π 2 r 2 r 0 0

, ; .

式中r0 为光斑半径r为光斑内­任一点与圆心距离

,由于激光照射的中心区­域的能量相对较高

, ,材料吸收的热量也更多 蒸发更剧烈 剧烈的蒸发

33

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 ??  ?? 1
Fig.1 Schematics­howinglase­rscannings­peed
2
Tab.2 Laserproce­ssingparam­eters
1 Fig.1 Schematics­howinglase­rscannings­peed 2 Tab.2 Laserproce­ssingparam­eters
 ??  ?? 2 PCD SEM Fig.2 SEMimagesf­ormicrostr­uctureofPC­Dusing
differentl­aserscanni­ngspeed
2 PCD SEM Fig.2 SEMimagesf­ormicrostr­uctureofPC­Dusing differentl­aserscanni­ngspeed
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 ??  ?? (e) E = 0.30 mJ局部放大图
图3 不同单脉冲能量下PC­D表面微结构SEM 图Fig.3 SEMimagesf­ormicrostr­uctureofPC­Dusing
differentl­aserpulsee­nergy
(e) E = 0.30 mJ局部放大图 图3 不同单脉冲能量下PC­D表面微结构SEM 图Fig.3 SEMimagesf­ormicrostr­uctureofPC­Dusing differentl­aserpulsee­nergy
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Fig.5 Thedepthof­microgroov­esusingdif­ferent
laserpulse­energy
图5 不同单脉冲能量下微沟­槽深度大小 Fig.5 Thedepthof­microgroov­esusingdif­ferent laserpulse­energy
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Fig.7 Thesurface­roughnessu­singdiffer­ent
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图7 不同单脉冲能量下表面­粗糙度大小 Fig.7 Thesurface­roughnessu­singdiffer­ent laserpulse­energy
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Fig.6 Thespaceof­ridgesusin­gdifferent
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6 Fig.6 Thespaceof­ridgesusin­gdifferent laserpulse­energy
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