Preis für Entwickler der Lithografie-Technik von Zeiss, Trumpf und ASML

BERLIN (dpa) - Mit dem Deutschen Zukunftspreis des Bundespräsidenten wird in diesem Jahr eine Fertigungstechnik für leistungsfähige Mikrochips gewürdigt, die etwa in Smartphones stecken können. Staatsoberhaupt Frank-Walter Steinmeier verlieh die Auszeichnung für Technik und Innovation am Mittwoch an ein Team aus Baden-Württemberg und Thüringen. Die Entwickler um Sprecher Peter Kürz kommen von den baden-württembergischen Unternehmen Zeiss (Oberkochen) und Trumpf (Ditzingen) sowie dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF (Jena). Kürz und seine Mitstreiter Michael Kösters und Sergiy Yulin hätten einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung der EUV-Lithografie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit sehr feinen Strukturen fertigen ließen. Auch die niederländische Firma ASML war beteiligt.