Neuer Sensor misst Reinheit des Vakuums schneller Thüringer Innovationspreis
Vacom stellt eine Neuheit für die Halbleiterindustrie, Fusionsreaktoren und die Krebsbehandlung vor
Großlöbichau. Computerchips werden im Vakuum, also im möglichst materiefreien Raum hergestellt. Schon einzelne Partikel können diesen Idealzustand stören und zu Ausschuss führen. Deshalb wollen Hersteller die Fertigungsbedingungen kontinuierlich überwachen, um schnell Abweichungen zu bemerken – Vacom aus Großlöbichau (Saale-Holzland-Kreis) hat mit „Novion“eine Lösung entwickelt.
Bislang braucht es vier Geräte, um den Druck zu messen, ein Leck zu erkennen oder die Bestandteile der im Vakuum enthaltenen Gase zu bestimmen. Das neuentwickelte, kompakte Gerät liefert deutlich schneller Messergebnisse als die bisherigen Systeme. Mängel in der
Chipproduktion fallen nun schneller auf. Einsatzmöglichkeiten bestehen auch in Fusionsreaktoren
oder in Anlagen zur Tumorbestrahlung. Der neue Sensor wird direkt an die Vakuumkammer gekoppelt und überwacht diese kontinuierlich. Eine patentierte Ionenquelle speichert dafür die im Vakuum vorhandenen, ionisierten Restgasteilchen. Das Ionenpaket wird auf einen Detektor gelenkt. Vacom ermittelt anhand der minimal unterschiedlichen Flugzeit, welcher Art die enthaltenen Teilchen sind.
Ein interdisziplinäres Entwicklungsteam hat gut sechs Jahre geforscht. „Viele Klippen waren zu umschiffen. Es brauchte Mut, unternehmerisches Risiko und Vertrauen in die Technologie“, sagt Klaus Bergner, technischer Leiter bei Vacom. Langfristig sieht er im neuen Messgerät das Potenzial, zum dritten Standbein der Firma zu reifen.