Halb­lei­ter: Jagd an den Grenz­flä­chen

Wie ein bei­spiel­haf­tes For­schungs­pro­jekt mit dem stei­ri­schen Su­per­mi­kro­skop fünf TopHalb­lei­ter-Fir­men in die Zu­kunft ka­ta­pul­tiert.

Kleine Zeitung Steiermark - - | STEIERMARK - NOR­BERT SWOBODA

Es ist je­ner Ide­al­fall, von dem im­mer wie­der ger­ne ge­spro­chen wird: Wie kommt die Wis­sen­schaft hin zur In­dus­trie, wie wer­den aus abs­trak­ten Vor­stel­lun­gen, Theo­ri­en und Er­klä­run­gen schluss­end­lich nach­ge­frag­te Pro­duk­te und da­mit Ar­beits­plät­ze?

Es geht um ei­ne Ko­ope­ra­ti­on zwi­schen fünf gro­ßen Her­stel­lern elek­tro­ni­scher Bau­ele­men­te in Süd­ös­ter­reich und dem Zen­trum für Elek­tro­nen­mi­kro­sko­pie (ZFE), das an der TU Graz an­ge­dockt ist. Ge­för­dert wird es vom FFG, dem Fonds zur För­de­rung der an­ge­wand­ten For­schung. Zum Ein­satz kommt das bes­te Elek­tro­nen­mi­kro­skop Ös­ter­reichs: das ASTEM, was für Aus­tri­an Scan­ning Trans­mis­si­on Elec­tron Mi­cro­scope steht.

Fer­di­nand Ho­fer, Lei­ter des ZFE, er­klärt die Idee des Pro­jekts, das für vor­erst zwei Jah­re an­ge­legt ist: „2011 ha­ben wir das ASTEM be­kom­men und in den vier Jah­ren ha­ben wir Er­fah­rung mit dem In­stru­ment ge­won­nen. Wir ha­ben ge­lernt, mit dem In­stru­ment gut um­zu­ge­hen, und da­mit wol­len wir jetzt die Struk­tur von in­ne­ren Grenz­flä­chen in elek­tro­ni­schen Bau­tei­len un­ter­su­chen“.

Elek­tro­ni­sche Schalt­krei­se be­ste­hen aus sehr dün­nen Schich­ten. Die span­nends­ten Din­ge pas­sie­ren an der Gren­ze zwei­er sol­cher Schich­ten. Wie ge­hen sie in­ein­an­der über? Wel­che Pro­ble­me be­rei­ten die Fer­ti­gungs­pro­zes­se? Ent­ste­hen dort Feh­ler, „Lö­cher“und Un­ge­nau­ig­kei­ten? Je klei­ner und dün­ner die Bau­tei­le und die ein­zel­nen Schich­ten wer­den, um­so kom­pli­zier­ter wer­den die Ver­hält­nis­se. Mit dem Elek­tro­nen­mi­kro­skop kann man nun so­zu­sa­gen auf ato­ma­rer Ebe­ne durch dün­ne Schich­ten durch­schau­en und be­stim­men, wel­che Atom­sor­ten sich dort be­fin­den und wie sie zu­sam­men­hal­ten.

Me­tho­dik ver­bes­sern

Die Pro­jekt­lei­te­rin, die Phy­si­ke­rin Evelin Fissltha­ler, er­klärt die Her­aus­for­de­rung: „Wir wol­len in dem Pro­jekt meh­re­re Din­ge er­rei­chen. Ei­ner­seits gilt es, Ant­wor­ten auf of­fe­ne Fra­ge­stel­lun­gen aus der Bau­teil­ent­wick­lung zu fin­den, an­de­rer­seits hof­fen wir, dass wir die Un­ter­su­chungs­me­tho­dik ver­bes­sern und uns auf be­stimm­te An­wen­dungs­fäl­le bes­ser vor­be­rei­ten kön­nen.“

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