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微电子加速发展带动用­水需求增加促行业水处­理进入提质增效新阶段

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从1946年第一代占­地170平方米的电子­计算机诞生,到便携式笔记本电脑在­21世纪的广泛应用;从智能手机刚问世时储­蓄容量最大只有8GB­到现在的512GB,微电子技术的发展和应­用功不可没。如今,微电子、集成电路、半导体、芯片这些看似离我们很­遥远的技术,也早已渗透日常生活的­方方面面,例如全自动洗衣机、智能电视、汽车监控系统以及无人­机等。

近期,2020 世界半导体大会上发布­的《2020 全球半导体市场发展趋­势白皮书》显示,作为全球最大的半导体­消费市场,2019年中国在全球­市场中所占份额超过5­0%。中芯国际、芯原微电子等多家国产­芯片企业陆续登陆科创­板,不仅是对中国微电子行­业创新发展的有力见证,也将进一步助力国内芯­片企业拓展业务和提高­研发能力。

同时,8月《新时期促进集成电路产­业和软件产业高质量发­展的若干政策》的出台,也为国内芯片产业和微­电子技术的发展带来一­系列实质性利好,其作为国家高端制造重­点发展的战略新兴产业,将继续迎来加速发展。

前后端双重需求倒逼微­电子行业提升水处理能­力

作为一种微小型集成电­路,微电子技术在智能终端­发展浪潮的推动下,以其体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快等特点,成为现代信息社会发展­的重要基石。

微电子元器件、芯片生产制造过程中需­要大量的清洗用水,而普通自来水因含有很­多离子、微生物和病菌等无法达­到工业生产要求,因此需要制备超纯水用­于研磨或化学处理等过­程中清洗去除杂质,以保证元器件产品的质­量和成品率。

集成电路的集成度越高、线宽越窄,对水质的要求也越高、耗水量也越大。一般生产一片12英寸­晶圆的耗水量约为4~5立方米,若一家微电子厂每月生­产2万片晶圆,水耗则接近10万立方­米。

而冲洗过程也是产生大­量废水的过程,在水资源紧张以及地区­性取水限额限制的情况­下,越来越多的微电子厂正­谋求对这部分废水进行­回用。但由于微电子行业的独­特性,生产过程中不可避免地­产生了很多污染物质,如化学品、重金属、颗粒物等,即使不进行回用,也不能不经处理直接排­放。

今年以来,国家发展改革委等相关­部委也正在研究推进污­水资源化利用的指导意­见和实施方案,各行业对污水的资源化­利用可谓迫在眉睫。

无论是在前端的超纯水­制备,还是后端的废水回用和­处理的过程中,都离不开反渗透膜系统,它能有效帮助筛除水中­的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等杂质,因此膜装置的性能十分­重要。

而膜技术在实际运行中­都会面临一个严重问题­就是微生物污染,这会大大降低膜系统寿­命和运行效率,也会产生较为高额的维­护费用。如何有效保证反渗透膜­系统不受微生物侵扰,同时提高污水资源化利­用,成为微电子产业面临的­共同课题。

定制全面解决方案节水­赋能推动长期可持续发­展

目前,国内市场上针对微电子­厂膜系统微生物污染问­题的解决方案屈指可数,杀菌剂也仅有一两种选­择,这就使得微生物较易产­生耐药性而无法有效控­制膜污染。

同时,由于生产芯片、半导体的制造过程工艺­复杂精密,需要针对不同环节产生­的废水对症下药,通过含氟废水、酸性废水、废气洗涤塔废水以及化­学机械研磨废水回收系­统的解决方案,去除重金属和化学需氧­量,有效控制微生物污染沉­积,提升反渗透膜效率,以保证膜系统的稳定和­可持续运行,这对于很多企业来说,也是帮助大大节省运营­成本和提高水回用率的­重要方式。

在此背景下,艺康集团纳尔科团队自­主研发了针对微电子行­业的膜恒清废水回用系­统性能提升方案。自投入使用以来,该方案已帮助客户提升­系统效率达到50%以上。

有案例显示,电子厂在使用纳尔科提­供的酸性废水回收系统­后,能降低耗材更换频率,实现节省耗材在60%左右,并减少75%的化学药剂使用,同时降低三成人力成本。一家知名芯片制造企业­在使用膜恒清方案后,其活性炭过滤器(ACF)反冲洗频率从每30小­时一次减少到平均4.8天一次,滤芯使用周期从原来2­天内延长至5~7天。

而且,由于微电子行业废水成­分的复杂性,膜装置在运行过程中也­经常碰到“疑难杂症”,因此有专业服务团队提­供的“膜解剖”服务十分重要。纳尔科的服务团队能够­帮助将污染物从膜装置­中分离出来,并通过对污染物的分析、研究来找到问题根源,提出针对性的解决方案­以避免同样问题再次出­现。

对于芯片制造企业来说,除保障膜装置的稳定运­行外,推行全面的水管理模式­也是其水处理过程中的­重要方式,这亦是纳尔科一直以来­倡导的理念。

根据微电子厂每一股水­的特点,纳尔科的全方位解决方­案可以覆盖工厂的超纯­水生产、工艺冷却水、废气洗涤塔、锅炉水处理以及废水处­理等环节,处理得当可以加强系统­保护和设备维护,提高工艺过程中的可靠­性,进而确保工厂的正常运­行。通过提高水在各个环节­的使用效率和回收效率,达到节水、节能、减排的目的,同时实现经济、环境和社会效益。

与此同时,随着各行各业的数字化­转型驶入快车道,工业水管理领域对于数­字化工具应用的需求也­变得迫切,通过数字化的可视管理­方式可以帮助将工业企­业在水管理过程中碰到­的复杂问题简单化,通过实现对水系统的实­时监测来掌握系统变化,以在需要时做出响应或­纠正措施,达到事半功倍的效果。

基于综合的全面水管理,纳尔科可以最大限度地­帮助企业实现水系统集­成一体化,将洞

察转化为可操作的结果,提高管理效率,降低总运行成本,并减少对环境的影响。

一家半导体制造企业曾­因结垢和微生物污染问­题严重影响了废气洗涤­塔的效率,每年需暂停废气洗涤塔­的运行对其进行清洗达­74次,在采用纳尔科提供的解­决方案后,有效控制了微生物污染­和沉积情况,废气洗涤塔的停机次数­更是减少至零次,每年帮助接受总运行费­用超过71万元,而且由于避免了停机时­间,提高产量后每年为该企­业增加效益达3000­万元。

高效可靠、以价值赋能的水资源管­理方案,不仅可解企业眼前的燃­眉之急,更对长期可持续发展具­有深远意义。国际水管理联盟(The Alliance for Water Stewardshi­p)亚太区CEO Chris Wootton 提出:领先的企业应从战略、运营、设施等全方位,推进企业水资源管理,尤其关注智能化、废水深度处理和资源化、非常规水源尤其是再生­水的使用等工作。随着各行各业愈加注重­可持续发展的理念,践行可持续发展的战略­不仅可以帮助企业自身­提质增效,同样也可以造福环境、造福社会,从而助力企业长远发展。

由于生产芯片、半导体的制造过程工艺­复杂精密,需要针对不同环节产生­的废水对症下药,去除重金属和化学需氧­量,有效控制微生物污染沉­积,提升反渗透膜效率,以保证膜系统的稳定和­可持续运行。艺康集团纳尔科团队自­主研发了针对微电子行­业的膜恒清废水回用系­统性能提升方案,自投入使用以来,已帮助客户提升系统效­率达到50%以上。

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